一種無掩模板光刻裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010337223.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111458987A 公開（公告）日 2020-07-28
申請公布號 CN111458987A 申請公布日 2020-07-28
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 嚴(yán)振中;吳陽 申請（專利權(quán)）人 赫智科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京同輝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 赫智科技（蘇州）有限公司
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)若水路388號H402室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種無掩模板光刻裝置，包括光學(xué)面包板，光學(xué)面包板的一側(cè)設(shè)置有光源支撐板，光源支撐板上設(shè)置有光源模組，光學(xué)面包板上設(shè)置有光學(xué)引擎模組，貼合于光源模組且還位于同一軸線，光源模組的光源輸出端連通至光學(xué)引擎模組的光源進(jìn)入端，光學(xué)引擎模組的光源輸出端上設(shè)置有鏡筒，與光學(xué)引擎模組呈垂直設(shè)置，鏡筒連通至第一反射鏡模組，光學(xué)面包板上設(shè)置有第二反射鏡模組，與第一反射鏡模組相對間隔設(shè)置，光學(xué)面包板上設(shè)置有照明支撐板，與第二反射鏡模組相對，且在照明支撐板和第二反射鏡模組之間設(shè)置有導(dǎo)向軸，與第一反射鏡模組和鏡筒構(gòu)成平行設(shè)置，成像模組穿接在導(dǎo)向軸上，呈豎直設(shè)置。本發(fā)明能依據(jù)需求進(jìn)行任意改動，方便其靈活性。??