半導(dǎo)體材料研磨設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720512886.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN206937069U 公開(kāi)（公告）日 2018-01-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN206937069U 申請(qǐng)公布日 2018-01-30
分類號(hào) B24B37/00;B24B37/34 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王娟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 貴州貴芯半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 貴陽(yáng)春秋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 楊云
地址 550025 貴州省貴陽(yáng)市貴安新區(qū)貴安綜合保稅區(qū)內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了半導(dǎo)體材料研磨設(shè)備，包括研磨設(shè)備，所述研磨設(shè)備下方固定有支撐底座，所述研磨設(shè)備表面焊接有研磨臺(tái)，所述研磨設(shè)備通過(guò)連接柱與操作面板連接，所述研磨臺(tái)表面固定有研磨器，所述研磨器通過(guò)支撐座與粗磨轉(zhuǎn)輪連接，且支撐座一側(cè)設(shè)置有夾具，所述研磨臺(tái)一側(cè)固定有導(dǎo)軌，且導(dǎo)軌表面安裝有移動(dòng)控制塊，本實(shí)用新型中，本申請(qǐng)通過(guò)利用兩個(gè)不同的研磨輪達(dá)到不同的研磨效果，同時(shí)，精磨轉(zhuǎn)輪設(shè)計(jì)成了可拆卸結(jié)構(gòu)，通過(guò)螺紋和連接桿來(lái)固定精磨轉(zhuǎn)輪，可以根據(jù)需要更換不同尺寸的研磨輪，同時(shí)，還在研磨臺(tái)上加入了夾取半導(dǎo)體材料的夾具，通過(guò)夾具夾取并放入研磨，相比較于手工放置研磨精度更高，安全性更好。