一種氧化鋅基氣敏材料的制備方法、制得的氣敏材料及其應(yīng)用
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011170541.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112345599A | 公開（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112345599A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-09 |
| 分類號(hào) | G01N27/12(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 楊正 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 微納感知（合肥）技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥市浩智運(yùn)專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 葉濛濛 |
| 地址 | 230088安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道2800號(hào)創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園二期F3樓16層1608-1610室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開一種氧化鋅基氣敏材料的制備方法，涉及MEMS氣體傳感器技術(shù)領(lǐng)域，包括以下步驟：(1)鋅源溶液的配制；(2)取有機(jī)堿溶液滴加到鋅鹽溶液中，攪拌，超聲分散，得到濁液；(3)將濁液置于50?90℃烘箱中靜置反應(yīng)1?24h，即制得氧化鋅基氣敏材料。本發(fā)明還提供上述制備方法制得的氧化鋅基氣敏材料及其應(yīng)用。本發(fā)明的有益效果在于：本發(fā)明制備方法簡單，無昂貴的設(shè)備投入，易批量化生產(chǎn)，制備方法綠色能耗低。制得的化鋅基氣敏材料、MEMS敏感芯片、MEMS氣體傳感器用于對(duì)硫化氫氣體的檢測具有靈敏度高、選擇性好，響應(yīng)恢復(fù)時(shí)間短、檢測范圍寬的優(yōu)點(diǎn)。?? |
