一種懸梁結(jié)構(gòu)流量傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022545974.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213714430U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213714430U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-16 |
| 分類號(hào) | G01F1/56（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 張巖;鄒子純;周睿穎 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 微納感知（合肥）技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥市浩智運(yùn)專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張景云 |
| 地址 | 230088安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道2800號(hào)創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園二期F3樓16層1608-1610室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種懸梁結(jié)構(gòu)流量傳感器，屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域，包括懸梁結(jié)構(gòu)、第一金屬薄膜極板、第二金屬薄膜極板；所述懸梁結(jié)構(gòu)包括感流區(qū)域和多個(gè)懸臂；多個(gè)所述懸臂均勻布設(shè)在感流區(qū)域四周，所述懸梁結(jié)構(gòu)上布設(shè)所述第一金屬薄膜極板，所述第一金屬薄膜極板與第二金屬薄膜極板之間具有高度差，氣流作用于懸梁結(jié)構(gòu)，使懸梁結(jié)構(gòu)攜帶第一金屬薄膜極板做靠近或遠(yuǎn)離第二金屬薄膜極板的彎曲變形。通過(guò)將懸梁結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)成中央感流，四周懸臂為連接臂，可以實(shí)現(xiàn)感流面大，提高靈敏度，同時(shí)提供懸梁結(jié)構(gòu)的機(jī)械強(qiáng)度；由于多個(gè)懸臂均勻布置在感流區(qū)域的四周，可保證懸梁的規(guī)則變形，避免因變形不規(guī)則導(dǎo)致懸梁損壞。 |
