一種懸梁結構流量傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022545974.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213714430U 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN213714430U 申請公布日 2021-07-16
分類號 G01F1/56（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張巖;鄒子純;周睿穎 申請（專利權）人 微納感知（合肥）技術有限公司
代理機構 合肥市浩智運專利代理事務所（普通合伙） 代理人 張景云
地址 230088安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道2800號創(chuàng)新產業(yè)園二期F3樓16層1608-1610室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種懸梁結構流量傳感器，屬于微電子機械系統(tǒng)技術領域，包括懸梁結構、第一金屬薄膜極板、第二金屬薄膜極板；所述懸梁結構包括感流區(qū)域和多個懸臂；多個所述懸臂均勻布設在感流區(qū)域四周，所述懸梁結構上布設所述第一金屬薄膜極板，所述第一金屬薄膜極板與第二金屬薄膜極板之間具有高度差，氣流作用于懸梁結構，使懸梁結構攜帶第一金屬薄膜極板做靠近或遠離第二金屬薄膜極板的彎曲變形。通過將懸梁結構設計成中央感流，四周懸臂為連接臂，可以實現(xiàn)感流面大，提高靈敏度，同時提供懸梁結構的機械強度；由于多個懸臂均勻布置在感流區(qū)域的四周，可保證懸梁的規(guī)則變形，避免因變形不規(guī)則導致懸梁損壞。