雙層懸梁結(jié)構(gòu)流量傳感器及應(yīng)用其的控制電路
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021809176.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212963498U | 公開（公告）日 | 2021-04-13 |
| 申請公布號(hào) | CN212963498U | 申請公布日 | 2021-04-13 |
| 分類號(hào) | G01F1/56(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 陳棟梁;張巖;薛峰 | 申請（專利權(quán)）人 | 微納感知（合肥）技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥市浩智運(yùn)專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張景云 |
| 地址 | 230088安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道2800號(hào)創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園二期F3樓16層1608-1610室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型雙層懸梁結(jié)構(gòu)流量傳感器及應(yīng)用其的控制電路，自下至上依次包括襯底、下層絕緣介質(zhì)層、下層金屬極板、錨區(qū)、上層絕緣介質(zhì)層、上層金屬極板；襯底開設(shè)有第一窗口，下層絕緣介質(zhì)層開設(shè)有釋放第一窗口的第二窗口；第二窗口橫跨有第一懸臂梁，第一懸臂梁兩端固定；上層絕緣介質(zhì)層向第一窗口水平延伸出第二懸臂梁，下層金屬極板的第一觸點(diǎn)上方。開設(shè)的第一窗口，形成氣流通道，為第二懸臂梁的變形提供基礎(chǔ)，基于第一懸臂梁為兩端固定，不會(huì)受到氣流的影響而變形，僅僅只有第二懸臂變形，實(shí)現(xiàn)兩個(gè)懸臂間的間距發(fā)生變化，從而實(shí)現(xiàn)電容值的變化，滿足流量傳感器的測量需求，流量傳感器靈敏度高；該流量傳感器整體結(jié)構(gòu)簡單，易制作。?? |
