一種WO3氣敏材料的制備方法、制得的氣敏材料及其應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110212084.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113030196A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113030196A 申請公布日 2021-06-25
分類號 G01N27/12 分類 測量；測試;
發(fā)明人 吳秋菊;高陳;胡文利;榮錢;姚冬婷;楊正;張偉;項小婷 申請（專利權）人 微納感知（合肥）技術有限公司
代理機構 合肥市浩智運專利代理事務所（普通合伙） 代理人 葉濛濛
地址 230088 安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道2800號創(chuàng)新產業(yè)園二期F3樓16層1608-1610室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種WO3氣敏材料的制備方法，涉及MEMS氣體傳感器技術領域，本發(fā)明包括以下步驟：將鎢酸鈉進行酸化處理，酸化處理時采用的酸濃度為1?8mol/L，控制溶液的H+濃度為0.001?3mol/L，然后將混合反應體系進行穩(wěn)定處理，穩(wěn)定處理結束后，將產物進行清洗、干燥，然后進行熱處理，即獲得WO3氣敏材料。本發(fā)明還提供采用上述方法制得的WO3氣敏材料及其應用。本發(fā)明的有益效果在于：本發(fā)明制得的WO3氣敏材料對三甲胺具有較高的響應值，對50ppm的三甲胺響應值最高可達到83，相對于常見的氣體檢測，具有很好的選擇性。對10ppm濃度的三甲胺具有較高的靈敏度。