一種多檢測電極的懸臂梁氣體傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010266510.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111380918B | 公開（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111380918B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-23 |
| 分類號(hào) | G01N27/00(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 陳棟梁;謝東成;榮錢;許磊 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 微納感知（合肥）技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥市浩智運(yùn)專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張景云 |
| 地址 | 230088安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道2800號(hào)創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園二期F3樓16層1608-1610室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種多檢測電極的懸臂梁氣體傳感器，包括懸臂梁，在所述懸臂梁上集成多個(gè)檢測電極，多個(gè)檢測電極分布在懸臂梁的不同位置，所述懸臂梁的不同位置溫度不同。本發(fā)明多檢測電極的氣體傳感器，多對(duì)檢測電極分別分布在懸臂梁的不同位置，由于懸臂梁溫度分布呈梯度變化，因此每一對(duì)檢測電極所在區(qū)域的溫度不同，即使使用同樣的氣敏材料，在氣體來臨時(shí)，每一對(duì)檢測電極上獲得的氣體響應(yīng)不同，可用于一定程度上的氣體識(shí)別。?? |
