微透鏡母模
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921285663.7 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN210666081U | 公開(公告)日 | 2020-06-02 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN210666081U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-02 |
分類號(hào) | G02B3/00(2006.01)I | 分類 | 光學(xué); |
發(fā)明人 | 黃玲玲 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 北京萬(wàn)應(yīng)科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京信諾創(chuàng)成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 北京萬(wàn)應(yīng)科技有限公司 |
地址 | 100029北京市朝陽(yáng)區(qū)北土城西路3號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種微透鏡母模,包括:襯底、金屬連接層和多排金屬半球部,每排金屬半球部包括多個(gè)金屬半球,相鄰兩排金屬半球部的間距與相鄰金屬半球的間距相等,所述金屬半球與金屬連接層一一對(duì)應(yīng),所述金屬半球通過(guò)金屬連接層固定在襯底上。利用本實(shí)用新型實(shí)施例不僅能夠簡(jiǎn)化制作工藝,還可采用常規(guī)半導(dǎo)體加工工藝實(shí)現(xiàn)高精度、高密度和高占空比微透鏡母模的制造,大大降低生產(chǎn)成本,同時(shí)還可采用高溫真空回流技術(shù),使金屬半球表面光滑如鏡,大大降低金屬半球的粗糙度。?? |
