微透鏡母模制造方法及微透鏡母模
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910729833.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112346153A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112346153A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-09 |
| 分類號(hào) | G02B3/00(2006.01)I | 分類 | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 黃玲玲 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京萬(wàn)應(yīng)科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京信諾創(chuàng)成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 劉金峰 |
| 地址 | 100029北京市朝陽(yáng)區(qū)北土城西路3號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種微透鏡母模制造方法及微透鏡母模，包括：在襯底上沉積金屬連接層；在金屬連接層上涂敷光刻膠；在所述光刻膠上光刻圖形，形成光刻圖像；蝕刻金屬連接層，將相鄰光刻圖像之間的金屬連接層去除；去除光刻膠；將金屬球體植在金屬連接層上；對(duì)金屬球體進(jìn)行高溫真空回流處理，形成金屬半球，所述金屬半球的外徑與光刻圖像的半徑相等；所述金屬半球降溫固化，得到微透鏡母模。利用本發(fā)明實(shí)施例不僅能夠簡(jiǎn)化制作工藝，還可采用常規(guī)半導(dǎo)體加工工藝實(shí)現(xiàn)高精度、高密度和高占空比微透鏡母模的制造，大大降低生產(chǎn)成本，同時(shí)還可采用高溫真空回流技術(shù)，使金屬半球表面光滑如鏡，大大降低金屬半球的粗糙度。?? |
