微透鏡母模制造方法及微透鏡母模

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910729842.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112346154A 公開（公告）日 2021-02-09
申請公布號 CN112346154A 申請公布日 2021-02-09
分類號 G02B3/00(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 黃玲玲 申請（專利權(quán)）人 北京萬應(yīng)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京信諾創(chuàng)成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉金峰
地址 100029北京市朝陽區(qū)北土城西路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例公開了一種微透鏡母模制造方法及微透鏡母模，包括：在襯底上涂敷光刻膠；在所述光刻膠上光刻圖形，形成光刻窗口；在所述光刻窗口內(nèi)電鍍預(yù)定金屬，形成金屬柱；其中，光刻窗口的直徑與金屬柱直徑相等；去除光刻膠；對金屬柱進(jìn)行高溫真空回流處理，形成金屬半球；所述金屬半球降溫固化，得到微透鏡母模。利用本發(fā)明實(shí)施例不僅能夠簡化制作工藝，還可采用常規(guī)半導(dǎo)體加工工藝實(shí)現(xiàn)高精度、高密度、高占空比微透鏡母模的制造，大大降低生產(chǎn)成本，同時(shí)還可采用電鍍和高溫真空回流技術(shù)使金屬半球表面光滑如鏡，大大降低金屬半球的粗糙度，實(shí)現(xiàn)超低粗糙度制造，而且易于清潔和再生，可適應(yīng)各種微透鏡母模的制造，適用性廣。??