微透鏡母模

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921285847.3 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN210666082U 公開(公告)日 2020-06-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN210666082U 申請(qǐng)公布日 2020-06-02
分類號(hào) G02B3/00(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 黃玲玲 申請(qǐng)(專利權(quán))人 北京萬應(yīng)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京信諾創(chuàng)成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京萬應(yīng)科技有限公司
地址 100029北京市朝陽區(qū)北土城西路3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種微透鏡母模,其包括:襯底、金屬連接層和多排金屬半球部,相鄰兩排金屬半球部之間設(shè)置有間隙,每排金屬半球部包括多個(gè)金屬半球,相鄰金屬半球之間具有空隙,所述金屬半球與金屬連接層一一對(duì)應(yīng),所述金屬連接層貼合在所述襯底上,所述金屬半球固定在金屬連接層上。利用本實(shí)用新型實(shí)施例不僅能夠簡(jiǎn)化制作工藝,還可采用常規(guī)半導(dǎo)體加工工藝實(shí)現(xiàn)高精度、高密度、高占空比微透鏡母模的制造,大大降低生產(chǎn)成本,同時(shí)還可采用電鍍和高溫真空回流技術(shù)使金屬半球表面光滑如鏡,大大降低金屬半球的粗糙度,實(shí)現(xiàn)超低粗糙度制造,而且易于清潔和再生,可適應(yīng)各種微透鏡母模的制造,適用性廣。??