一種晶圓片高效分選的清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022294491.9 申請日 -
公開（公告）號 CN213887308U 公開（公告）日 2021-08-06
申請公布號 CN213887308U 申請公布日 2021-08-06
分類號 B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/677 分類 清潔;
發(fā)明人 韋勝;盧凱;盛育 申請（專利權）人 蘇州禾裕融資租賃有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 215000 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)跨塘分區(qū)金達路18號廠房北部一樓、二樓、三樓局部
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及晶圓片分選機設備技術領域，尤其是一種晶圓片高效分選的清洗裝置,包括支撐座，支撐座的底部固定安裝有若干支腳，支撐座的頂部固定安裝有清洗臺，清洗臺上開設有若干放置槽，清洗臺的兩側均安裝有清洗機構，清洗機構包括往復螺桿，往復螺桿轉動安裝在清洗臺的外側，往復螺桿上螺紋安裝有第二螺紋座，第二螺紋座的外側與清洗臺滑動連接，第二螺紋座的頂部固定安裝有噴水座，噴水座的進口端固定安裝有進水軟管，噴水座的出口端固定安裝有噴頭，兩個往復螺桿的外端均固定安裝有鏈輪，兩個鏈輪之間通過鏈條傳動連接。本實用新型通過噴頭將水均勻噴灑到清洗臺上，從而對清洗臺上的放置槽清洗干凈，清理范圍廣，效率更高。