貼附裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120145122.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213816087U 公開（公告）日 2021-07-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN213816087U 申請(qǐng)公布日 2021-07-27
分類號(hào) H01L21/67;H01L33/48 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙柯;韋冬;李慶;黃朝葵;王春華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州禾裕融資租賃有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州威世朋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 常偉
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)通園路666號(hào)B幢2樓2007
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種貼附裝置，適用于將導(dǎo)電膠層貼附至晶圓一側(cè)具有若干微結(jié)構(gòu)的表面上，包括：真空腔室和設(shè)置于真空腔室中的上載臺(tái)和下載臺(tái)，上載臺(tái)朝向下載臺(tái)一側(cè)的第一表面上設(shè)置若干開孔，上載臺(tái)的內(nèi)部設(shè)置若干通道，若干開孔與若干通道相互連通；上載臺(tái)用于真空吸附導(dǎo)電膠層于所述第一表面上；下載臺(tái)固定所述晶圓于下載臺(tái)朝向上載臺(tái)一側(cè)的第二表面上；若干微結(jié)構(gòu)面對(duì)所述導(dǎo)電膠層；以及連通所述若干通道的高壓氣體發(fā)生裝置；其中，移動(dòng)下載臺(tái)，以使微結(jié)構(gòu)的頂端接觸導(dǎo)電膠層；高壓氣體發(fā)生裝置朝向若干通道中提供高壓氣體，高壓氣體自若干開孔中吹出，使得導(dǎo)電膠層緊密貼附于若干微結(jié)構(gòu)的外側(cè)。