發(fā)光二極管襯底的剝離方法及發(fā)光二極管陣列
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011450285.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112582506A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112582506A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-30 |
| 分類號(hào) | H01L33/00(2010.01)I;H01L27/15(2006.01)I;H01L33/48(2010.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 韋冬;李慶;于波;趙柯 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州禾裕融資租賃有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州威世朋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 常偉 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)通園路666號(hào)B幢2樓2007 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種發(fā)光二極管襯底的剝離方法及發(fā)光二極管陣列，剝離方法包括：提供襯底，在所述襯底生長(zhǎng)犧牲層，在所述犧牲層的表面生長(zhǎng)發(fā)光二極管器件；提供輔助基板；涂布鍵合膠至所述輔助基板的周邊或者所述襯底的周邊；于氮?dú)馇皇抑?，鍵合所述襯底和所述輔助基板，使得所述襯底、所述輔助基板以及所述鍵合膠共同限定出的密閉空間內(nèi)充滿氮?dú)?；以及激光照射并穿過(guò)所述襯底，使所述犧牲層熱解，所述襯底和所述發(fā)光二極管器件分離。?? |
