一種多晶硅鑄錠用石英坩堝的氮化硅噴涂工藝及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510334557.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104926149B 公開(kāi)（公告）日 2017-08-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN104926149B 申請(qǐng)公布日 2017-08-11
分類號(hào) C03C17/22 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 鐘錚 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 重慶大全新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 重慶大全新能源有限公司
地址 404000 重慶市萬(wàn)州區(qū)龍都大道666號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種多晶硅鑄錠用石英坩堝的氮化硅噴涂工藝，包括步驟1)將氮化硅粉末、硅溶膠和去離子水混合形成乳漿狀溶液；2)對(duì)步驟1)中的溶液進(jìn)行攪拌并加熱；3)將加熱后的溶液噴涂到坩堝內(nèi)表面，常溫下干燥形成氮化硅膜噴涂層，通過(guò)加入硅溶膠，能夠使氮化硅粉強(qiáng)有力地吸附在坩堝內(nèi)壁，迅速有效的吸附水分，縮短水分揮發(fā)時(shí)間，在常溫下干燥2h后即可在坩堝內(nèi)壁形成一層致密的氮化硅涂層，這種工藝耗時(shí)短，效率高，能耗低，能夠縮短多晶硅鑄錠的生產(chǎn)周期，容易操作，形成的涂層更均勻，有助于保護(hù)多晶硅鑄錠及坩堝，提高產(chǎn)品質(zhì)量，延長(zhǎng)坩堝使用壽命，降低生產(chǎn)成本。本發(fā)明還公開(kāi)了一種多晶硅鑄錠用石英坩堝的氮化硅噴涂工藝所用的裝置。