一種制絨白斑單晶硅片的返工工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110209139.3 申請日 -
公開（公告）號 CN102270702A 公開（公告）日 2011-12-07
申請公布號 CN102270702A 申請公布日 2011-12-07
分類號 H01L31/18(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 林濤;李勇;陳清波;馮帥臣;張耀明;張茂勝 申請（專利權(quán)）人 江蘇伯樂達(dá)光伏有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江蘇伯樂達(dá)光伏有限公司
地址 224051 江蘇省鹽城市亭湖新區(qū)興洋大道1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種制絨白斑單晶硅片的返工工藝，其工藝步驟包括：對白斑單晶硅片進(jìn)行高溫處理，使所述白斑單晶硅片表面殘留的雜質(zhì)揮發(fā)；對高溫處理后的所述白斑單晶硅片進(jìn)行制絨工藝，去除單晶硅片表面的白斑。本發(fā)明提供的制絨白斑單晶硅片的返工工藝，通過對白斑單晶硅片進(jìn)行高溫處理，使其表面殘留的雜質(zhì)揮發(fā)，去除雜質(zhì)的白斑單晶硅片在之后進(jìn)行的制絨工藝中有利于進(jìn)行腐蝕，能夠有效去除白斑單晶硅片表面的白斑，大大提高了返工硅片的良品率。