選擇性發(fā)射極晶硅太陽能電池的一次性擴(kuò)散工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110209124.7 申請日 -
公開（公告）號 CN102270701A 公開（公告）日 2011-12-07
申請公布號 CN102270701A 申請公布日 2011-12-07
分類號 H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 林濤;陳清波;馮帥臣;姚紹榮;張耀明;張茂勝 申請（專利權(quán)）人 江蘇伯樂達(dá)光伏有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江蘇伯樂達(dá)光伏有限公司
地址 224051 江蘇省鹽城市亭湖新區(qū)興洋大道1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種選擇性發(fā)射極晶硅太陽能電池的一次性擴(kuò)散工藝，其工藝步驟包括：在硅片上印刷硅墨；向擴(kuò)散爐內(nèi)通入氧氣，使所述硅片以及所述硅墨的表面均形成二氧化硅層；向所述擴(kuò)散爐內(nèi)通入三氯氧磷進(jìn)行擴(kuò)散，使印刷有所述硅墨的區(qū)域形成重?fù)诫s區(qū)，在所述硅片上未印刷所述硅墨的區(qū)域形成淺摻雜區(qū)。本發(fā)明提供的選擇性發(fā)射極晶硅太陽能電池的一次性擴(kuò)散工藝能夠進(jìn)行大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)，工藝過程簡單，成本較低。