一種智能功率芯片結(jié)構(gòu)及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110007273.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN112820654A 公開(kāi)(公告)日 2021-05-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN112820654A 申請(qǐng)公布日 2021-05-18
分類(lèi)號(hào) H01L21/50;H01L21/60;H01L21/683;H01L23/367;H01L23/488 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫德瑞 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 山東傲天環(huán)??萍加邢薰?/a>
代理機(jī)構(gòu) 北京華際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 葉宇
地址 250000 山東省濟(jì)南市歷下區(qū)華能路38號(hào)匯源大廈1506
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種智能功率芯片結(jié)構(gòu)及其制造方法。本發(fā)明利用多個(gè)散熱圖案熱連接第一散熱層對(duì)功率芯片進(jìn)行散熱,保證功率芯片的正常工作;特別的,所述焊盤(pán)所使用的第一金屬比所述多個(gè)散熱圖案所使用的第二金屬的氧化還原電位高,并且,所述焊盤(pán)通過(guò)較薄的凸塊下金屬層弱電連接至所述多個(gè)散熱圖案,可以防止焊盤(pán)的腐蝕且可以保證電連接的可靠性。