一種便捷式大直徑硅片片盒清洗設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210338411.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114749406A 公開（公告）日 2022-07-15
申請公布號 CN114749406A 申請公布日 2022-07-15
分類號 B08B3/02（2006.01）I;B08B3/10（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 楊路肖;張宏杰;劉建偉;武衛(wèi);劉姣龍;祝斌;袁祥龍;雍琪浩 申請（專利權(quán)）人 中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州高專知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 214200江蘇省無錫市宜興經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)東氿大道
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種便捷式大直徑硅片片盒清洗設(shè)備，包括底座，所述底座的頂部設(shè)置有清洗箱，所述底座的內(nèi)部固定安裝有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出端貫穿清洗箱安裝有中心軸，所述中心軸的外側(cè)表面固定安裝有片盒架，所述片盒架上方的清洗箱內(nèi)部環(huán)繞設(shè)置有噴淋口，所述噴淋口上方的清洗箱內(nèi)壁環(huán)繞設(shè)置有烘干管，所述清洗箱的一側(cè)表面設(shè)置有加熱管，所述加熱管的下方設(shè)置有溫控器，所述清洗箱的一側(cè)表面貫穿設(shè)置有溢流管。該一種便捷式大直徑硅片片盒清洗設(shè)備，首先通過設(shè)置的密閉空間，使得硅片清洗過程中不與外界進(jìn)行接觸，同時經(jīng)過3次純水噴淋，以及通過加12次旋轉(zhuǎn)高溫配合低溫交替烘干，大大提高了片盒的整體清潔度。