一種晶圓片用固定裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122970170.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216957990U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216957990U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-12 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/687（2006.01）I;H01L21/324（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 楊強(qiáng);周宏邦;張恒;賈海洋;婁中士;王淼;甄新雷;許曉玲 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 010070內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市賽罕區(qū)寶力爾街15號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種晶圓片用固定裝置，至少包括：石英舟；固定架，置于所述石英舟上方，能夠在晶圓片立放于所述石英舟內(nèi)時(shí)與所述晶圓片卡接配合，以使所有所述晶圓片放置在所述石英舟和所述固定架之間形成的放置空間內(nèi)不晃動(dòng)。本實(shí)用新型通過(guò)在晶圓片的上端面設(shè)有鏤空設(shè)置的固定架，固定架可與下置的石英舟共同作用提高晶圓片放置的穩(wěn)定性，防止晶圓片晃動(dòng)，降低碎片幾率；同時(shí)還在每個(gè)晶圓片的兩側(cè)都設(shè)有可用于導(dǎo)流的導(dǎo)板，導(dǎo)板不僅可進(jìn)一步提高晶圓片的固定，還可使冷風(fēng)全部沿導(dǎo)流吹進(jìn)導(dǎo)板形成的導(dǎo)流倉(cāng)內(nèi)，加快冷卻速度和冷卻均勻度，可進(jìn)一步降低氧施主的產(chǎn)生，提高電阻率測(cè)量的準(zhǔn)確性；不僅節(jié)約退火時(shí)間，還可節(jié)約能源，降低生產(chǎn)成本。 |
