一種測(cè)試單晶硅電阻率的輔助裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122000064.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216956144U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216956144U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-12 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01R15/00（2006.01）I;G01R1/04（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I;G01R27/02（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 李睿;王淼;楊強(qiáng);馬飛;甄新雷;周宏邦;賈海洋;張強(qiáng);婁中士;張恒 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 010070內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市賽罕區(qū)寶力爾街15號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種測(cè)試單晶硅電阻率的輔助裝置，該輔助裝置包括探針架和探針，探針設(shè)置于探針架的一端，探針用于檢測(cè)單晶硅的電阻率。本實(shí)用新型解決了目前現(xiàn)有技術(shù)的對(duì)單晶硅進(jìn)行電阻率測(cè)量時(shí)測(cè)量方法測(cè)試臂較短，無(wú)法測(cè)量較大尺寸直徑單晶硅樣品；若加長(zhǎng)測(cè)試臂，則會(huì)降低測(cè)量工作效率，穩(wěn)定性較差，無(wú)法保證測(cè)量精度的問(wèn)題；提供一種測(cè)試單晶硅電阻率的輔助裝置，該輔助裝置可以根據(jù)測(cè)量的單晶硅樣品直徑需求對(duì)測(cè)試臂進(jìn)行調(diào)節(jié)，且調(diào)節(jié)方便，無(wú)需進(jìn)行大量的更換操作，能夠有效提升測(cè)量效率和測(cè)量的準(zhǔn)確度，適用于多種不同規(guī)格單晶硅樣品的測(cè)量。 |
