含氟樹脂化合物、含其的光刻膠組合物及其合成方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911403589.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111072836A 公開（公告）日 2020-04-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN111072836A 申請(qǐng)公布日 2020-04-28
分類號(hào) C08F212/14;C08F220/18;C08F220/24;G03F7/039;G03F7/004 分類 有機(jī)高分子化合物；其制備或化學(xué)加工；以其為基料的組合物;
發(fā)明人 吳信;梅崇余;冉瑞成;傅志偉;毛國平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇漢拓光學(xué)材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海智晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 江蘇漢拓光學(xué)材料有限公司
地址 201612 上海市松江區(qū)中心路1158號(hào)9號(hào)樓4-5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及一種含氟樹脂化合物，其至少包含衍生自含氟丙烯酸酯的第一重復(fù)單元、衍生自羥基苯乙烯的第二重復(fù)單元、以及衍生自不含氟丙烯酸酯的第三重復(fù)單元。本申請(qǐng)還涉及上述含氟樹脂化合物的合成方法。本申請(qǐng)還涉及一種包含如上所述的含氟樹脂化合物的光刻膠組合物。包含本申請(qǐng)的含氟樹脂化合物的光刻膠組合物可用于解決KrF厚膜光刻膠應(yīng)用過程中出現(xiàn)的膠膜開裂、側(cè)邊形貌差及底部縫隙等問題，膜厚范圍可達(dá)8?20μm，膠膜透過率高、附著力強(qiáng)、側(cè)邊形貌平滑且具有良好的耐刻蝕性等。