樹脂化合物、含其的光刻膠組合物及其合成方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911403644.4 申請日 -
公開（公告）號 CN111087515A 公開（公告）日 2020-05-01
申請公布號 CN111087515A 申請公布日 2020-05-01
分類號 C08F212/14;C08F220/18;C08F212/08;G03F7/004 分類 有機高分子化合物；其制備或化學加工；以其為基料的組合物;
發(fā)明人 吳信;劉平;魏正華;宋紅波;冉瑞成;傅志偉;毛國平 申請（專利權）人 江蘇漢拓光學材料有限公司
代理機構 上海智晟知識產權代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 江蘇漢拓光學材料有限公司
地址 201612 上海市松江區(qū)中心路1158號9號樓4-5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種樹脂化合物，其至少包括衍生自羥基苯乙烯的第一重復單元和衍生自丙烯酸酯的第二重復單元。本申請還涉及上述樹脂化合物的合成方法。本申請還涉及一種包含如上所述的樹脂化合物的光刻膠組合物。本申請的光刻膠組合物可用于解決KrF厚膜光刻膠應用過程中出現的膠膜開裂、側邊形貌差及底部縫隙等問題，膜厚范圍可達8?20μm。