光分解堿、含其的光刻膠組合物及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811008056.6 申請日 -
公開（公告）號 CN108997182A 公開（公告）日 2018-12-14
申請公布號 CN108997182A 申請公布日 2018-12-14
分類號 C07C381/12;C07C67/30;C07C67/08;C07C69/40;G03F7/004 分類 有機化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 傅志偉;宋紅波;戴俊燕;冉瑞成;毛國平 申請（專利權(quán)）人 江蘇漢拓光學(xué)材料有限公司
代理機構(gòu) 上海智晟知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 江蘇漢拓光學(xué)材料有限公司
地址 201612 上海市松江區(qū)中心路1158號9號樓4-5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種含有半氟取代的烷基基團的光分解堿，其具有通過下述通式(I)所示的結(jié)構(gòu)：其中各基團如說明書中所定義。本申請還提供一種包含上述光分解堿的光刻膠組合物。本申請還提供一種制備如上所述的光分解堿的方法。本申請的有益效果在于本申請的光分解堿在光刻膠中具有很好的均勻分布性能，且具有很高的柔性，與光刻膠樹脂有很好的相容性，具有較慢的擴散性能，提高了的光刻膠的分辨率，在高端光刻膠中，具有很好的光刻性能。