用于定向自組裝的嵌段共聚物和使用其的定向自組裝方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811008058.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN109206605B | 公開（公告）日 | 2019-01-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109206605B | 申請(qǐng)公布日 | 2019-01-15 |
| 分類號(hào) | C08G64/18(2006.01)I | 分類 | 有機(jī)高分子化合物；其制備或化學(xué)加工；以其為基料的組合物; |
| 發(fā)明人 | 傅志偉;吳信;王寶清;戴俊燕;毛國(guó)平;冉瑞成;張寶林;韋亞一 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇漢拓光學(xué)材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海智晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 江蘇漢拓光學(xué)材料有限公司 |
| 地址 | 201612上海市松江區(qū)中心路1158號(hào)9號(hào)樓4-5樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)涉及一種用于定向自組裝的嵌段共聚物，其具有通過下述通式(I)所示的結(jié)構(gòu)：其中，A為一個(gè)富含有C元素或Si元素的耐刻蝕均聚物鏈段；B為一個(gè)富含有O元素的易刻蝕均聚物鏈段；且X?H是含活潑H的功能性連接鏈段。本申請(qǐng)還涉及使用該嵌段共聚物的定向自組裝方法以及由此得到的具有垂直分相結(jié)構(gòu)的定向自組裝結(jié)構(gòu)。本申請(qǐng)還涉及上述嵌段共聚物在電子元件加工中的應(yīng)用。本申請(qǐng)的嵌段共聚物包含極性活潑H的二嵌段，在嵌段共聚物分相的過程中，活潑H通過氫鍵作用與硅片表面Si?OH錨合，克服嵌段共聚物兩端差異的表面能，促使在無中性層的條件下垂直分相。?? |
