一種包含聚對(duì)羥基苯乙烯類(lèi)聚合物和丙烯酸酯共聚物的光刻膠組合物
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201711401557.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN108132584A | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-06-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108132584A | 申請(qǐng)公布日 | 2018-06-08 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/039;C08F212/14;C08F212/08;C08F220/18;C08F220/20;C08F220/30 | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 毛國(guó)平;霍建輝;劉平;陳英博;韓政;孫友松;冉瑞成 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇漢拓光學(xué)材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海智晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 江蘇漢拓光學(xué)材料有限公司 |
| 地址 | 201612 上海市松江區(qū)中心路1158號(hào)9號(hào)樓4-5樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)涉及一種光刻膠組合物，所述光刻膠組合物包含(a)丙烯酸酯共聚物；(b)聚對(duì)羥基苯乙烯類(lèi)聚合物；(c)光生酸劑；(d)酸猝滅劑；和(e)溶劑。本申請(qǐng)的有益效果在于通過(guò)增加丙烯酸酯共聚物的分子量以及提高丙烯酸酯共聚物分子鏈的柔性，并將丙烯酸酯共聚物與傳統(tǒng)的聚對(duì)羥基苯乙烯類(lèi)聚合物共混，解決了基于丙烯酸酯的光刻膠在厚度大于或等于6微米時(shí)的開(kāi)裂問(wèn)題，使得本申請(qǐng)的光刻膠組合物可滿(mǎn)足厚度大于或等于6微米且在248nm下光刻和刻蝕的需求。 |
