一種環(huán)氧型負(fù)性厚膜光刻膠及其制備與使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911170357.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111007696A 公開（公告）日 2020-04-14
申請公布號 CN111007696A 申請公布日 2020-04-14
分類號 G03F7/004(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 劉平;劉永生;孫友松;冉瑞成;毛國平;傅志偉 申請（專利權(quán)）人 江蘇漢拓光學(xué)材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海智晟知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 江蘇漢拓光學(xué)材料有限公司
地址 201612上海市松江區(qū)中心路1158號9號樓4-5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種環(huán)氧型負(fù)性厚膜光刻膠，其包括以下質(zhì)量百分比的組成：環(huán)氧樹脂10～80％；光致產(chǎn)酸劑3～6％；聚合型縮水甘油醚添加劑1～5％；流平劑100～3000ppm；溶劑余量。本申請還涉及上述環(huán)氧型負(fù)性厚膜光刻膠的制備與使用方法。本發(fā)明顯著改善了該厚膜光刻膠的膠膜開裂缺陷，擴(kuò)大了應(yīng)用范圍。本發(fā)明涉及的光刻膠涂膜厚度大約10?200um，適合制備具有高深寬比的微結(jié)構(gòu)的電路或器件。??