一種生物基水溶性負(fù)性紫外光刻膠組合物、光刻膠及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911170223.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111007698A | 公開（公告）日 | 2020-04-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111007698A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-04-14 |
| 分類號(hào) | G03F7/038(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 周翼;王忍;孫友松;毛國(guó)平;傅志偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇漢拓光學(xué)材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海智晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 江蘇漢拓光學(xué)材料有限公司 |
| 地址 | 201612上海市松江區(qū)中心路1158號(hào)9號(hào)樓4-5樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)涉及一種生物基水溶性負(fù)性紫外光刻膠組合物，所述生物基水溶性負(fù)性紫外光刻膠組合物包括以下組分：a)室溫穩(wěn)定且不膠凝的明膠水溶液；b)水溶性光引發(fā)劑；以及c)可聚合單體，其包括多官能團(tuán)的可交聯(lián)的單體。本申請(qǐng)還涉及一種利用上述光刻膠組合物制備的光刻膠及其制備方法。本申請(qǐng)的光刻膠除了涂膠后的烘干步驟以外，光刻工藝過程都在室溫下進(jìn)行，且光刻膠和光刻工藝過程中無三廢產(chǎn)生，節(jié)省能源且環(huán)境友好。?? |
