一種包含聚對羥基苯乙烯類聚合物和丙烯酸酯共聚物的光刻膠組合物

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711401557.6 申請日 -
公開（公告）號 CN108132584B 公開（公告）日 2018-06-08
申請公布號 CN108132584B 申請公布日 2018-06-08
分類號 G03F7/039(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 毛國平;霍建輝;劉平;陳英博;韓政;孫友松;冉瑞成 申請（專利權(quán)）人 江蘇漢拓光學材料有限公司
代理機構(gòu) 上海智晟知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 江蘇漢拓光學材料有限公司
地址 201612上海市松江區(qū)中心路1158號9號樓4-5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種光刻膠組合物，所述光刻膠組合物包含(a)丙烯酸酯共聚物；(b)聚對羥基苯乙烯類聚合物；(c)光生酸劑；(d)酸猝滅劑；和(e)溶劑。本申請的有益效果在于通過增加丙烯酸酯共聚物的分子量以及提高丙烯酸酯共聚物分子鏈的柔性，并將丙烯酸酯共聚物與傳統(tǒng)的聚對羥基苯乙烯類聚合物共混，解決了基于丙烯酸酯的光刻膠在厚度大于或等于6微米時的開裂問題，使得本申請的光刻膠組合物可滿足厚度大于或等于6微米且在248nm下光刻和刻蝕的需求。??