一種丙烯酸酯共聚物及包含其的光刻膠組合物

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201711401447.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108373520A 公開(kāi)（公告）日 2018-08-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN108373520A 申請(qǐng)公布日 2018-08-07
分類號(hào) C08F220/20;C08F220/32;G03F7/004 分類 有機(jī)高分子化合物；其制備或化學(xué)加工；以其為基料的組合物;
發(fā)明人 冉瑞成;魏正華;宋紅波;石東昌;韓政;孫友松;毛國(guó)平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇漢拓光學(xué)材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海智晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 江蘇漢拓光學(xué)材料有限公司
地址 201612 上海市松江區(qū)中心路1158號(hào)9號(hào)樓4-5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及一種丙烯酸酯共聚物，所述丙烯酸酯共聚物的合成方法，以及包含所述丙烯酸酯共聚物的光刻膠組合物。本申請(qǐng)的有益效果在于通過(guò)增加丙烯酸酯共聚物的分子量以及提高丙烯酸酯共聚物分子鏈的柔性，解決了基于丙烯酸酯的光刻膠在厚度大于或等于6微米時(shí)的開(kāi)裂問(wèn)題，使得包含本申請(qǐng)的丙烯酸酯共聚物的光刻膠組合物可滿足厚度大于或等于6微米且在248nm下蝕刻的需求。