一種大尺寸硅片脫膠機噴淋裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122118205.8 申請日 -
公開（公告）號 CN215543189U 公開（公告）日 2022-01-18
申請公布號 CN215543189U 申請公布日 2022-01-18
分類號 B08B3/02（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 孫彬;朱炳;湯琦;徐志群;付明全 申請（專利權(quán)）人 廣東金灣高景太陽能科技有限公司
代理機構(gòu) 北京眾達德權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張曉冬
地址 519000廣東省珠海市金灣區(qū)三灶鎮(zhèn)金海岸大道西46號4#號廠房第四層404
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種大尺寸硅片脫膠機噴淋裝置，包括噴淋槽底板、噴淋管組和傳動機構(gòu)，所述噴淋槽底板的前后兩側(cè)均焊接有短側(cè)板，在噴淋槽底板的左右兩側(cè)均焊接有長側(cè)板，所述噴淋槽底板上表面與短側(cè)板和長側(cè)板的內(nèi)表面組成了脫膠槽，在脫膠槽的內(nèi)部設(shè)有噴淋管組，所述噴淋管組在脫膠槽的內(nèi)壁頂端由上至下依次分為第一噴淋管、第二噴淋管和第三噴淋管，在每根噴淋管的表面均等間距安裝有噴頭；本實用新型通過設(shè)置對稱的噴淋管組在使用時可通過不同噴射角度的噴淋管配合后期連接增壓設(shè)備調(diào)整每根噴淋管的噴淋壓強，就可以實現(xiàn)多角度不同壓力對大尺寸硅片表面進行充分的清洗提高清洗效果降低了污片率。