一種方棒加熱自動線

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121129027.2 申請日 -
公開(公告)號 CN215187471U 公開(公告)日 2021-12-14
申請公布號 CN215187471U 申請公布日 2021-12-14
分類號 H05B6/80(2006.01)I;H05B6/76(2006.01)I;H05B6/78(2006.01)I;H05B1/02(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I 分類 其他類目不包含的電技術;
發(fā)明人 張小飛;侯賀;王鋼 申請(專利權)人 大連威凱特科技有限公司
代理機構 北京中索知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 楊瑾
地址 116033遼寧省大連市甘井子區(qū)營城子鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)營日路40號-1、40號-2、40號-3
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種方棒加熱自動線,涉及硅片生產(chǎn)設備,包括支撐座、雙鏈條傳輸線、左抑制微波泄露裝置、微波加熱區(qū)、右抑制微波泄露裝置、電器控制柜構成;本實用新型使用多微波加熱器對硅棒方棒進行均勻加熱,并通過溫度傳感器實時檢測,可以將硅棒方棒均勻加熱至27±3攝氏度,同時使硅棒方棒加熱的均勻性好,加熱效率高,硅棒溫度分布更均勻,從而減少硅棒在切割過程中硅片崩邊的比例,有利于降低硅片的加工成本。