一種基于接觸面積的線性響應(yīng)電容型壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910699865.4 申請日 -
公開（公告）號 CN110285896A 公開（公告）日 2019-09-27
申請公布號 CN110285896A 申請公布日 2019-09-27
分類號 G01L1/14;G01L9/12 分類 測量；測試;
發(fā)明人 程文;潘力佳;施毅 申請（專利權(quán)）人 南京戎智信息創(chuàng)新研究院有限公司
代理機構(gòu) 南京瑞弘專利商標事務(wù)所（普通合伙） 代理人 南京戎智信息創(chuàng)新研究院有限公司
地址 210032 江蘇省南京市江北新區(qū)星火路19號星智匯商務(wù)花園9號樓2層204
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種壓力感測裝置，包括微結(jié)構(gòu)材料、附著于所述結(jié)構(gòu)表面的電極、介質(zhì)或?qū)щ姴牧?；附著于所述介質(zhì)或?qū)щ姴牧弦幻娴碾姌O以及支撐材料；所述附著于所述結(jié)構(gòu)表面的電極接觸所述介質(zhì)或?qū)щ姴牧现坏姆请姌O面的表面產(chǎn)生相應(yīng)接觸面積；所述結(jié)構(gòu)、所述附著于所述結(jié)構(gòu)表面的電極、所述介質(zhì)或?qū)щ姴牧?、所述附著于所述介質(zhì)或?qū)щ姴牧弦幻娴碾姌O，以及所述支撐材料一起配置和布置以通過以下步驟提供對壓力的線性電指示；響應(yīng)于所述結(jié)構(gòu)的彈性壓縮或膨脹而影響所述相應(yīng)的接觸面積的變化，以及基于所述相應(yīng)的接觸面積的變化提供所述附著于所述結(jié)構(gòu)表面的電極與所述附著于所述介質(zhì)或?qū)щ姴牧弦幻娴碾姌O之間的電容值的變化。