一種大尺寸鉬鈮平面靶材的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010363526.1 申請日 -
公開（公告）號 CN111534800B 公開（公告）日 2021-02-26
申請公布號 CN111534800B 申請公布日 2021-02-26
分類號 B22F5/00(2006.01)I;B22F3/17(2006.01)I;B22F3/10(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;B22F3/02(2006.01)I;B22F3/15(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 文宏福;李培林 申請（專利權）人 廣東歐萊高新材料股份有限公司
代理機構 北京天盾知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 李少歡
地址 523000廣東省東莞市厚街鎮(zhèn)汀山村汀山路121號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種大尺寸鉬鈮平面靶材的制備方法，包括1)粉末造粒步驟、2)熱等靜壓步驟、3)熱變形步驟和清洗加工步驟。通過本發(fā)明的制備方法，制造出組織成分均勻、平均晶粒度小、含氧量低、純度高和密度高的大尺寸靶材，本發(fā)明的制備方法制備的大尺寸靶材滿足濺射靶材的鍍膜要求。??