一種大尺寸鉬鈮平面靶材的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010363526.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111534800B 公開(kāi)（公告）日 2021-02-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN111534800B 申請(qǐng)公布日 2021-02-26
分類(lèi)號(hào) B22F5/00(2006.01)I;B22F3/17(2006.01)I;B22F3/10(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;B22F3/02(2006.01)I;B22F3/15(2006.01)I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 文宏福;李培林 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 廣東歐萊高新材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天盾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李少歡
地址 523000廣東省東莞市厚街鎮(zhèn)汀山村汀山路121號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種大尺寸鉬鈮平面靶材的制備方法，包括1)粉末造粒步驟、2)熱等靜壓步驟、3)熱變形步驟和清洗加工步驟。通過(guò)本發(fā)明的制備方法，制造出組織成分均勻、平均晶粒度小、含氧量低、純度高和密度高的大尺寸靶材，本發(fā)明的制備方法制備的大尺寸靶材滿足濺射靶材的鍍膜要求。??