一種低密度ITO靶材的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910773128.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110483033B 公開(kāi)（公告）日 2022-02-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN110483033B 申請(qǐng)公布日 2022-02-08
分類(lèi)號(hào) C04B35/457（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B35/626（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I 分類(lèi) 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 葉俊峰;文宏福 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 廣東歐萊高新材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州駿思知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 程毅
地址 512000 廣東省韶關(guān)市武江區(qū)創(chuàng)業(yè)路5號(hào)C幢廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種低密度ITO靶材的制備方法，包括以下步驟：S1、回收ITO廢靶，并對(duì)所述ITO廢靶進(jìn)行預(yù)處理，獲得ITO廢靶粉末；S2、制備氫氧化銦漿料，根據(jù)配比，將一定量的所述氫氧化銦漿料與所述ITO廢靶粉末混合、烘干后獲得新配比的ITO粉末；S3、將所述ITO粉末壓制成型獲得坯體，將所述坯體燒結(jié)后獲得所述低密度靶材。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的低密度ITO靶材通過(guò)添加氫氧化銦漿料改變ITO廢靶中的銦、錫配比，利用了氫氧化銦漿料的類(lèi)似膠體的性質(zhì)，其能夠充分與原ITO粉末混合，并充當(dāng)粘接劑的角色，氫氧化銦脫水形成氧化銦的過(guò)程中不會(huì)使坯體收縮，保證成型后坯體的體積密度的穩(wěn)定，克服了使用氧化銦作為改變配比的添加劑時(shí)引成型起坯體收縮的技術(shù)缺陷。