一種靶材的清洗方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011089333.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112452946A 公開（公告）日 2021-03-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN112452946A 申請(qǐng)公布日 2021-03-09
分類號(hào) B08B7/00(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 文宏福;郭文明 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東歐萊高新材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天盾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李少歡
地址 523000廣東省東莞市厚街鎮(zhèn)汀山村汀山路121號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種靶材的清洗方法，干冰噴槍組與清潔臺(tái)相對(duì)移動(dòng)，使干冰噴槍全面覆蓋靶材清潔。一種靶材的清洗方法，通過本發(fā)明的清洗設(shè)備使用干冰對(duì)靶材進(jìn)行清潔，實(shí)現(xiàn)全面覆蓋靶材清潔，縮短清洗時(shí)間，有效去除靶材氧化物。