一種高純銅旋轉(zhuǎn)靶的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010251321.4 申請日 -
公開（公告）號 CN111451314B 公開（公告）日 2021-02-26
申請公布號 CN111451314B 申請公布日 2021-02-26
分類號 B21J5/06(2006.01)I;B21J5/00(2006.01)I;B21J5/08(2006.01)I;B21C37/08(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I 分類 基本上無切削的金屬機械加工；金屬沖壓;
發(fā)明人 文宏福;吳本明;張中美 申請（專利權）人 廣東歐萊高新材料股份有限公司
代理機構(gòu) 北京天盾知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 李少歡
地址 523000廣東省東莞市厚街鎮(zhèn)汀山村汀山路121號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高純銅旋轉(zhuǎn)靶的制備方法，包括1)坯錠預處理步驟、2)精密制管步驟、3)靶材復合結(jié)構(gòu)加工與焊接和4)靶材穩(wěn)定化處理步驟。通過本發(fā)明的高純銅旋轉(zhuǎn)靶的制備方法，得到的晶粒組織均勻，晶粒細化，旋轉(zhuǎn)靶結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性強。