半導體工藝機臺的自由控制方法與裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210532140.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114661015A 公開（公告）日 2022-06-24
申請公布號 CN114661015A 申請公布日 2022-06-24
分類號 G05B19/418（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 阮正華;黃寒鐵 申請（專利權(quán)）人 無錫邑文電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 226400江蘇省南通市如東縣掘港街道金山路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┮环N半導體工藝機臺的自由控制方法和裝置，其中方法包括：基于目標半導體工藝機臺的工藝流程節(jié)點確定目標半導體工藝機臺對應的多個工藝流程模塊以及各工藝流程模塊對應的加工設備，獲取目標工藝流程模塊對應的目標加工設備的候選接口定義，基于候選接口定義與目標工藝流程模塊的功能匹配結(jié)果確定目標接口定義，基于目標加工設備的廠商和型號獲取目標加工設備的操作文檔，基于目標加工設備對應的目標接口定義和操作文檔生成目標加工設備的驅(qū)動程序，基于目標加工設備的驅(qū)動程序生成目標半導體工藝機臺的控制程序，并基于控制程序?qū)δ繕税雽w工藝機臺進行自由控制，能夠縮短半導體工藝機臺控制軟件的研發(fā)和維護周期，降低成本。