機(jī)械手取片異常處理方法、裝置、電子設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210611818.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114683291A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114683291A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類(lèi)號(hào) | B25J9/16（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分類(lèi) | 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車(chē)間設(shè)備；機(jī)械手; |
| 發(fā)明人 | 阮正華;孫文彬 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 無(wú)錫邑文電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京超凡宏宇專(zhuān)利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 226400江蘇省南通市如東縣掘港街道金山路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種機(jī)械手取片異常處理方法、裝置、電子設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)，其中方法包括：若機(jī)械臂為真空狀態(tài)，則基于針對(duì)晶圓盒下一層的取片指令控制機(jī)械臂移動(dòng)到晶圓盒的下一層進(jìn)行取片操作；若機(jī)械臂不為真空狀態(tài)，則獲取晶圓片中心與晶圓承載臺(tái)中心間的橫向偏移和縱向偏移；基于橫向偏移和工藝腔腔門(mén)的寬度，確定晶圓片是否處于明顯偏移狀態(tài)；若處于明顯偏移狀態(tài)，則更新送回指令，并基于更新后的送回指令將晶圓片送回晶圓盒；否則，更新傳入指令，并基于更新后的傳入指令將晶圓片放置在工藝腔內(nèi)的預(yù)設(shè)位置。本發(fā)明通過(guò)準(zhǔn)確識(shí)別各類(lèi)異常類(lèi)型并針對(duì)性地采用合適的異常處理方式，在提高異常處理效率的同時(shí)也可以提高晶圓片放片的精準(zhǔn)性。 |
