機(jī)臺工藝環(huán)境的配置方法與裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210603065.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114695209A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114695209A 申請公布日 2022-07-01
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 阮正華;張劍 申請（專利權(quán)）人 無錫邑文電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 226400江蘇省南通市如東縣掘港街道金山路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┮环N機(jī)臺工藝環(huán)境的配置方法與裝置，機(jī)臺包括PLC、傳送腔室和工藝腔室，方法包括：確定PLC中用于工藝環(huán)境配置的I/O點(diǎn)位，基于AI點(diǎn)位的輸入值確定傳送腔室與工藝腔室的初始壓力差，并在初始壓力差大于預(yù)設(shè)閾值的情況下，基于第一閥門配置信息對目標(biāo)閥門進(jìn)行第一開關(guān)操作，對傳送腔室和工藝腔室分別進(jìn)行抽真空操作，并在操作結(jié)束且工藝腔室與傳送腔室的當(dāng)前壓力差大于預(yù)設(shè)閾值的情況下，對當(dāng)前壓力較大的目標(biāo)腔室繼續(xù)進(jìn)行抽真空操作直至工藝腔室與傳送腔室的壓力差不大于預(yù)設(shè)閾值，基于第二閥門配置信息對目標(biāo)閥門進(jìn)行第二開關(guān)操作，并輸出工藝環(huán)境配置完成提示信息，能夠提高機(jī)臺工藝環(huán)境的配置效率和質(zhì)量。