一種進(jìn)氣機(jī)構(gòu)以及半導(dǎo)體等離子去膠機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210531983.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114628218B 公開（公告）日 2022-07-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN114628218B 申請(qǐng)公布日 2022-07-19
分類號(hào) H01J37/32（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;G03F7/42（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫文彬;杜馬峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無錫邑文電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 226400江蘇省南通市如東縣掘港街道金山路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種進(jìn)氣機(jī)構(gòu)以及半導(dǎo)體等離子去膠機(jī)，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。該進(jìn)氣機(jī)構(gòu)包括底座、蓋板、進(jìn)氣管和罐體。罐體固定安裝于蓋板，蓋板與底座鉸接，進(jìn)氣管的一端與蓋板連接，另一端與罐體連接，底座開設(shè)有進(jìn)氣通道，進(jìn)氣通道用于在蓋板轉(zhuǎn)動(dòng)至蓋合于底座上時(shí)與進(jìn)氣管連通，以使氣體能夠依次通過進(jìn)氣通道和進(jìn)氣管進(jìn)入罐體。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)由于采用了連接于蓋板上的進(jìn)氣管以及開設(shè)于底座上的進(jìn)氣通道，所以無需拆裝即可實(shí)現(xiàn)腔體的打開和閉合，節(jié)省時(shí)間成本和人力成本，維護(hù)效率高。