工藝腔抽真空控制方法、裝置、電子設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210603099.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114688011A | 公開（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114688011A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類號(hào) | F04B49/06（2006.01）I;F16K31/02（2006.01）I;G05B19/05（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類 | 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵; |
| 發(fā)明人 | 阮正華;顧銳 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無(wú)錫邑文電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 226400江蘇省南通市如東縣掘港街道金山路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種工藝腔抽真空控制方法、裝置、電子設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)，其中方法包括：隔離閥與真空泵之間的管道內(nèi)的壓力降至第一預(yù)設(shè)壓力后，控制蝶閥由關(guān)閉狀態(tài)打開至初始開合角度，開啟隔離閥，再基于預(yù)設(shè)打開速度，控制蝶閥打開至全開狀態(tài)；其中，蝶閥在初始開合角度下，以及蝶閥在基于預(yù)設(shè)打開速度打開至全開狀態(tài)的過(guò)程中，真空泵受到的沖擊壓力始終小于第二預(yù)設(shè)壓力；初始開合角度基于連接工藝腔與真空泵的管道的管道直徑和第二預(yù)設(shè)壓力確定，預(yù)設(shè)打開速度基于管道直徑、第二預(yù)設(shè)壓力和初始開合角度確定；初始開合角度和預(yù)設(shè)打開速度均與管道直徑成反比、與第二預(yù)設(shè)壓力成正比。本發(fā)明在保證抽真空過(guò)程的安全性的同時(shí)兼顧了抽真空的效率。 |
