擴(kuò)散舟

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620958809.X 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN206003753U 公開（公告）日 2017-03-08
申請公布號(hào) CN206003753U 申請公布日 2017-03-08
分類號(hào) H01L21/673(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 葛宜威;顧延桃;王毅 申請（專利權(quán)）人 揚(yáng)州杰盈汽車芯片有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陶得天
地址 225008 江蘇省揚(yáng)州市維揚(yáng)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)荷葉西路6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 擴(kuò)散舟。涉及擴(kuò)散舟，尤其涉及半導(dǎo)體晶圓擴(kuò)散舟。提供了一種結(jié)構(gòu)簡單，提高圓晶片壓緊可靠性，提高產(chǎn)品加工質(zhì)量的擴(kuò)散舟。所述舟體的中間設(shè)有容置槽、兩端分別設(shè)有推拉槽；還包括壓緊組件，所述壓緊組件包括壓塊、推桿和定位桿，所述推桿可拆卸連接在壓塊上，所述壓塊垂直設(shè)在容置槽內(nèi)，所述推拉槽的端部設(shè)有水平通孔和垂直通孔，所述垂直通孔連接水平通孔，所述推桿位于水平通孔內(nèi)，所述推桿上均布設(shè)有若干定位槽，所述定位桿適配地穿過垂直通孔且位于定位槽內(nèi)。所述壓塊上設(shè)有螺紋孔，所述推桿通過螺紋連接在壓塊上。本實(shí)用新型方便加工，操作簡便。