用于電泳制程的提籃

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620969307.7 申請日 -
公開（公告）號 CN205920954U 公開（公告）日 2017-02-01
申請公布號 CN205920954U 申請公布日 2017-02-01
分類號 H01L21/673(2006.01)I;C25D13/12(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉洋;葛宜威;王毅 申請（專利權）人 揚州杰盈汽車芯片有限公司
代理機構(gòu) 南京縱橫知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 陶得天
地址 225008 江蘇省揚州市維揚經(jīng)濟開發(fā)區(qū)荷葉西路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 用于電泳制程的提籃。涉及晶圓加工領域，尤其涉及用于電泳制程的提籃。提供了一種結(jié)構(gòu)簡單，便于空氣流通，方便干燥的用于電泳制程的提籃。所述立板一和立板二之間的底部設有一對對稱設置的不銹鋼撐桿一，所述撐桿一的內(nèi)側(cè)面設有若干鋸齒槽一，所述鋸齒槽一呈三角形，一對撐桿一上對應的鋸齒槽一用與放置晶圓，使得相鄰晶圓之間的間距為0.5?1.5cm；所述撐桿一和水平面之間的夾角為30?60°。還包括不銹鋼撐桿二，所述撐桿二位于立板一和立板二之間的上部，所述撐桿二的內(nèi)側(cè)設有鋸齒槽二，所述鋸齒槽一與鋸齒二一一對應。本實用新型方便加工，節(jié)省了成本。