用于電泳制程的提籃

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201620969307.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN205920954U 公開（公告）日 2017-02-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN205920954U 申請(qǐng)公布日 2017-02-01
分類號(hào) H01L21/673(2006.01)I;C25D13/12(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉洋;葛宜威;王毅 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 揚(yáng)州杰盈汽車芯片有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陶得天
地址 225008 江蘇省揚(yáng)州市維揚(yáng)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)荷葉西路6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 用于電泳制程的提籃。涉及晶圓加工領(lǐng)域，尤其涉及用于電泳制程的提籃。提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于空氣流通，方便干燥的用于電泳制程的提籃。所述立板一和立板二之間的底部設(shè)有一對(duì)對(duì)稱設(shè)置的不銹鋼撐桿一，所述撐桿一的內(nèi)側(cè)面設(shè)有若干鋸齒槽一，所述鋸齒槽一呈三角形，一對(duì)撐桿一上對(duì)應(yīng)的鋸齒槽一用與放置晶圓，使得相鄰晶圓之間的間距為0.5?1.5cm；所述撐桿一和水平面之間的夾角為30?60°。還包括不銹鋼撐桿二，所述撐桿二位于立板一和立板二之間的上部，所述撐桿二的內(nèi)側(cè)設(shè)有鋸齒槽二，所述鋸齒槽一與鋸齒二一一對(duì)應(yīng)。本實(shí)用新型方便加工，節(jié)省了成本。