硅舟
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201620958227.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN205917346U | 公開(kāi)（公告）日 | 2017-02-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN205917346U | 申請(qǐng)公布日 | 2017-02-01 |
| 分類號(hào) | C30B31/14(2006.01)I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 葛宜威;楊麗斌;王毅 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 揚(yáng)州杰盈汽車芯片有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 陶得天 |
| 地址 | 225008 江蘇省揚(yáng)州市維揚(yáng)經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)荷葉西路6號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 硅舟。涉及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，尤其涉及半導(dǎo)體加工用的硅舟。提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，提高硅片壓緊可靠性，提高產(chǎn)品加工質(zhì)量的硅舟。所述舟體的中間設(shè)有容置槽、兩端分別設(shè)有推拉槽，所述推拉槽的深度大于容置槽的深度；還包括壓緊組件，所述壓緊組件包括若干平板壓塊、三角壓塊一和三角壓塊二，所述平板壓塊垂直設(shè)在容置槽內(nèi)，所述三角壓塊一和三角壓塊二位于容置槽內(nèi)、且呈斜面配合連接，所述三角壓塊一和三角壓塊二的外側(cè)面相平行、且垂直于水平設(shè)置的容置槽。所述三角壓塊一和三角壓塊二均為直角壓塊。所述容置槽的底部設(shè)有若干通孔。本實(shí)用新型方便加工，操作簡(jiǎn)便。 |
