一種應用于半導體的磁力噴墨測試工藝
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201610741992.2 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN106328555A | 公開(公告)日 | 2017-01-11 |
申請公布號 | CN106328555A | 申請公布日 | 2017-01-11 |
分類號 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 葛宜威;崔亮;王毅 | 申請(專利權)人 | 揚州杰盈汽車芯片有限公司 |
代理機構 | 南京縱橫知識產權代理有限公司 | 代理人 | 陶得天 |
地址 | 225008 江蘇省揚州市維揚經濟開發(fā)區(qū)荷葉西路6號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種應用于半導體的磁力噴墨測試工藝。提供了一種操作簡單,能夠高效快速剔除不合格晶粒的應用于半導體的磁力噴墨測試工藝。包括以下步驟:S1、先激光切割晶片呈半切透狀,形成若干待分離的晶粒;S2、測試晶粒,區(qū)分不合格晶粒;S3、磁性墨水配制;S4、晶片噴墨,對不合格晶粒進行噴墨;S5、烘干,將噴墨后的晶片放置在烘箱內,烘箱溫度為80?100℃,時間為15?25min;S6、裂片,將待裂晶片放置在兩張防靜電麥拉紙之間,再通過硬質膠棒滾碾晶片,使其分裂成若干晶粒;S7、磁鐵吸附帶墨水的不合格晶粒,完成。本發(fā)明降低了生產成本,提高了工作效率,成品率高。 |
