用于晶圓制造圓片清洗的花籃

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201620970377.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN205959965U 公開（公告）日 2017-02-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN205959965U 申請(qǐng)公布日 2017-02-15
分類號(hào) H01L21/673(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉晴晴;葛宜威;王毅 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 揚(yáng)州杰盈汽車芯片有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陶得天
地址 225008 江蘇省揚(yáng)州市維揚(yáng)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)荷葉西路6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 用于晶圓制造圓片清洗的花籃。涉及清洗工具，尤其涉及用于晶圓制造圓片清洗的花籃。提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，提高產(chǎn)能，節(jié)約時(shí)間的用于晶圓制造圓片清洗的花籃。所述立板一和立板二之間設(shè)有一對(duì)平行且對(duì)稱設(shè)置的撐桿一，一對(duì)撐桿一位于立板一的底部?jī)啥?，所述撐桿一垂直于立板一，所述撐桿一在軸向上均布設(shè)有若干插槽一；所述立板一和立板二之間還設(shè)有撐桿二，所述撐桿二位于立板一的中間，所述撐桿二平行于撐桿一，所述撐桿二在軸向上均布設(shè)有若干插槽二，所述插槽一和插槽二一一對(duì)應(yīng)。所述撐桿二具有一對(duì)，一對(duì)撐桿二之間的連線垂直于一對(duì)撐桿一之間的連線。本實(shí)用新型方便加工，節(jié)省了成本。