用于晶圓制造圓片清洗的花籃

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620970377.4 申請日 -
公開（公告）號 CN205959965U 公開（公告）日 2017-02-15
申請公布號 CN205959965U 申請公布日 2017-02-15
分類號 H01L21/673(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉晴晴;葛宜威;王毅 申請（專利權）人 揚州杰盈汽車芯片有限公司
代理機構 南京縱橫知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 陶得天
地址 225008 江蘇省揚州市維揚經(jīng)濟開發(fā)區(qū)荷葉西路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 用于晶圓制造圓片清洗的花籃。涉及清洗工具，尤其涉及用于晶圓制造圓片清洗的花籃。提供了一種結構簡單，提高產(chǎn)能，節(jié)約時間的用于晶圓制造圓片清洗的花籃。所述立板一和立板二之間設有一對平行且對稱設置的撐桿一，一對撐桿一位于立板一的底部兩端，所述撐桿一垂直于立板一，所述撐桿一在軸向上均布設有若干插槽一；所述立板一和立板二之間還設有撐桿二，所述撐桿二位于立板一的中間，所述撐桿二平行于撐桿一，所述撐桿二在軸向上均布設有若干插槽二，所述插槽一和插槽二一一對應。所述撐桿二具有一對，一對撐桿二之間的連線垂直于一對撐桿一之間的連線。本實用新型方便加工，節(jié)省了成本。