一種激光加工鉆孔系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011092663.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112192019A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN112192019A 申請(qǐng)公布日 2021-06-04
分類號(hào) B23K26/06;B23K26/064;B23K26/073;B23K26/382 分類 機(jī)床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 鄒武兵;李璟;張德安;段家露;吳飛龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市韻騰激光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市科吉華烽知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 胡吉科
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)福永街道橋頭社區(qū)金港科技園B幢第二層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明專利提供一種激光加工鉆孔系統(tǒng)，包括高功率激光器、擴(kuò)束器、光束整形器、衍射光學(xué)元件、二維振鏡、F?theta掃描鏡和工件臺(tái)；所述高功率激光器出射的激光束經(jīng)所述擴(kuò)束器后，激光束照射到所述光束整形器和所述衍射光學(xué)元件，經(jīng)所述二維振鏡折轉(zhuǎn)到所述F?theta掃描鏡上，最終在其焦面形成10倍微米量級(jí)大小的環(huán)形聚焦光斑；其中所述光束整形器和所述衍射光學(xué)元件改變激光束的空間分布，所述二維振鏡和所述F?theta掃描鏡根據(jù)使用要求設(shè)定運(yùn)動(dòng)軌跡并驅(qū)動(dòng)環(huán)形聚焦光斑完成預(yù)定軌跡的路徑掃描。本發(fā)明的激光加工鉆孔系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，光路裝調(diào)容易，方便系統(tǒng)集成，孔的縱深方向錐度小，孔的深徑比值較大，且孔周圍無(wú)破邊，孔形良好，加工效率高。