一種高遠心度紫外掃描場鏡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120020766.1 申請日 -
公開（公告）號 CN214291376U 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN214291376U 申請公布日 2021-09-28
分類號 B23K26/064（2014.01）I;G02B13/00（2006.01）I;G02B26/10（2006.01）I 分類 機床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 鄒武兵;李璟;段家露;吳飛龍 申請（專利權(quán)）人 深圳市韻騰激光科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳市恒程創(chuàng)新知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙愛蓉
地址 518000廣東省深圳市福永街道橋頭社區(qū)金港科技園B幢第二層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種高遠心度紫外掃描場鏡，包括沿光束傳播方向依次設(shè)置的呈雙凹結(jié)構(gòu)且焦距為負的第一透鏡lens1、呈彎月結(jié)構(gòu)且焦距為正的第二透鏡lens2、呈彎月結(jié)構(gòu)且焦距為正的第三透鏡lens3、呈彎月結(jié)構(gòu)且焦距為正的第四透鏡lens4、呈彎月結(jié)構(gòu)且焦距為正的第五透鏡lens5以及呈平板結(jié)構(gòu)的保護鏡SG。本實用新型可使得掃描場鏡的入瞳成像到無窮遠，其掃描視場內(nèi)的像方質(zhì)心遠心度＜0.2°，有助于解決一般激光掃描場鏡加工圖形時存在的位置偏差、激光鉆孔產(chǎn)生錐度孔等加工不精確的問題。