一種LCOS芯片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910937591.8 申請日 -
公開(公告)號 CN110568674A 公開(公告)日 2019-12-13
申請公布號 CN110568674A 申請公布日 2019-12-13
分類號 G02F1/1339(2006.01); G02F1/1343(2006.01); G02F1/1341(2006.01) 分類 光學;
發(fā)明人 殷雪敏 申請(專利權)人 深圳慧新辰技術有限公司
代理機構 深圳市恒程創(chuàng)新知識產權代理有限公司 代理人 深圳慧新辰技術有限公司
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道高新區(qū)社區(qū)白石路3609號深圳灣科技生態(tài)園二區(qū)9棟B4座1501
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種LCOS芯片,包括:硅基芯片;多個像素電極,多個所述像素電極間隔地設置于所述硅基芯片,多個所述像素電極和所述硅基芯片圍合形成多個間隔槽;多個絕緣體,每一所述絕緣體設于每一所述間隔槽內,每一所述絕緣體的上表面與一所述間隔槽的側壁圍合形成凹陷區(qū);及多個隔離件,每一所述隔離件填充每一所述凹陷區(qū)。本發(fā)明提出的LCOS芯片能解決經過化學機研磨和干法刻蝕后,電介質與像素電極之間存在凹陷區(qū)域的缺陷,以改善LCOS芯片的顯示效果。